新款升PARKER氣動(dòng)隔膜閥PV-11-002
工作原理：
派克930系列1-1 / 8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整，高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生，非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。
930系列采用不與過(guò)程流體接觸無(wú)螺紋或彈簧設(shè)計(jì)，可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留，減少半導(dǎo)體應(yīng)用中*的工藝污染。
該系列閥門(mén)的嚴(yán)格設(shè)計(jì)，控制閥座和隔膜應(yīng)力，以提供和免維護(hù)的使用壽命。
930系列閥門(mén)潤(rùn)濕部件由特種金屬制成，提供的耐腐蝕和泄漏完整。
閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質(zhì)。
 Vericlean™ 是派克專(zhuān)有的UHP不銹鋼。隔膜是高強(qiáng)度鈷基合金材質(zhì)。 
930系列還提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮樹(shù)脂（PEEK®）和聚酰亞胺（Vespel®）材質(zhì)的閥座，可使930閥門(mén)與各種工藝流體相兼容。
這些材料結(jié)合930系列嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達(dá)300 psig時(shí)度的耐腐蝕和大循環(huán)使用壽命。
930系列氣動(dòng)閥可以配置限位開(kāi)關(guān)或接近開(kāi)關(guān)，用以提供開(kāi) - 關(guān)位置指示。
還有多種閥體構(gòu)造可選，包括930Y系列（Y型閥）和SM930系列（面板安裝）。
930系列閥門(mén)上內(nèi)部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過(guò)質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄露測(cè)試，以確保在苛刻的UHP應(yīng)用中，保有其能和。
：
• 通用型,使用壽命長(zhǎng),結(jié)構(gòu)緊湊
• 用于減壓閥出口控制,氣體控制面板和取樣分析系統(tǒng)
• 常開(kāi)和常閉兩種形式可選
• 多種氣控執(zhí)行壓力可選
• 多種手柄形式可選
• 用于減壓閥出口控制閥,氣體控制面板和分析取樣系統(tǒng)
壓力等：250psig
溫度范圍: -26℃-66℃;
連接方式:卡套、NPT、PT以及ISO螺紋連接;
閥體部分材質(zhì)為SS316,哈氏合金和黃銅可選;
• 過(guò)流關(guān)斷閥
• 手動(dòng)和氣動(dòng)控制可選
• 閥門(mén)功能不受安裝位置影響(可水平,豎直,傾斜安裝)
• 六種壓力/流量設(shè)定范圍
• 焊接接頭和1/4"NPT內(nèi)螺紋接頭可選
• 清晰的顯示操作位置—"打開(kāi)(重置)"或者"自動(dòng)(關(guān)閉)"

新款升PARKER氣動(dòng)隔膜閥PV-11-002